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雙工作站臺式機(jī)型,適用于6英寸及以下晶圓的精密研磨拋光。
LP062型精密研磨拋光機(jī),是一個雙工作站機(jī)型,為臺式機(jī)。
其可兼容6英寸及以下的精密夾具2個進(jìn)行精密研磨和拋光。
采用雙蠕動泵供液,單滾筒進(jìn)行攪拌防止料液沉淀;
擺臂可配置為帶主驅(qū)電機(jī)功能,提升研磨拋光效率;
觸摸屏操控,程序編輯及存儲;
真空開關(guān)控制,方便夾具操控;
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