對GaAs，Inp 等半導(dǎo)體基板進(jìn)行劃線和裂片的設(shè)備。 可用于研發(fā)及量產(chǎn)。

大途劃片機(jī)，型號：DPS-402NR2

    本裝置是能在GaAs、InP 等化合物半導(dǎo)體基板上自動地找平定位后，解理用的劃線設(shè)備。

?本裝置是1 次/2 次劃線及全劃線芯片化的兼用機(jī)。

?劃線的找平中都使用了圖像處理裝置。

大途裂片機(jī)，型號：DBM-412NR

    裂片機(jī)：本裝置系為了芯片化對實(shí)施全線后的GaAs、Inp 等半導(dǎo)體基板進(jìn)行裂片的設(shè)備。

    在帶圖像處理裝置型式的場合，利用圖像處理裝置，可以自動找平基板和定位。

?本裝置是1 次/2 次裂線及全劃線芯片化的兼用機(jī)。

?劃線的找平中都使用了圖像處理裝置。

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