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小型臺式機,用于晶圓及樣品的高精密研磨和拋光。 磨拋盤直徑300mm.
LM400型精密研磨拋光機,是一個單工作站機型,為臺式機。
可用于四英寸及以下晶圓和樣品的加工。
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